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EVG 510-晶圓鍵合系統(tǒng)

參  考  價(jià):面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào):

品       牌:EVG

廠商性質(zhì):代理商

產(chǎn)品資料:查看pdf文檔

所  在  地:上海市

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更新時(shí)間:2024-11-09 12:36:21瀏覽次數(shù):3841次

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產(chǎn)地類別 國(guó)產(chǎn) 應(yīng)用領(lǐng)域 化工
EVG 510-晶圓鍵合系統(tǒng)(EVG鍵合機(jī)) 是用于研發(fā)或小批量生產(chǎn)的晶圓鍵合系統(tǒng)-與大批量生產(chǎn)設(shè)備*兼容。

EVG鍵合機(jī)EVG510(晶圓鍵合機(jī))是用于研發(fā)或小批量生產(chǎn)的晶圓鍵合系統(tǒng)-與大批量生產(chǎn)設(shè)備*兼容。

一、簡(jiǎn)介

      EVG鍵合機(jī)EVG510是一種高度靈活的晶圓鍵合系統(tǒng),可以處理從碎片到200 mm的基板尺寸。該工具支持所有常見(jiàn)的晶圓鍵合工藝,例如陽(yáng)極,玻璃粉,焊料,共晶,瞬態(tài)液相和直接法。易于使用的鍵合腔室和工具設(shè)計(jì)允許對(duì)不同的晶圓尺寸和工藝進(jìn)行快速便捷的重新工具化,轉(zhuǎn)換時(shí)間不到5分鐘。這種多功能性非常適合大學(xué),研發(fā)機(jī)構(gòu)或小批量生產(chǎn)應(yīng)用。EVG大批量制造工具(例如EVG GEMINI)上的鍵合室設(shè)計(jì)相同,鍵合程序易于轉(zhuǎn)移,可輕松擴(kuò)大生產(chǎn)規(guī)模。

二、EVG鍵合機(jī)EVG510特征

  • *的壓力和溫度均勻性

  • 兼容EVG機(jī)械和光學(xué)對(duì)準(zhǔn)器

  • 靈活的設(shè)計(jì)和配置,用于研究和試生產(chǎn)

  • 將單芯片形成晶圓

  • 各種工藝(共晶,焊料,TLP,直接鍵合)

  • 可選的渦輪泵(<1E-5 mbar)

  • 可升級(jí)用于陽(yáng)極鍵合

  • 開(kāi)室設(shè)計(jì),易于轉(zhuǎn)換和維護(hù)

  • 生產(chǎn)兼容

  • 高通量,具有快速加熱和泵送規(guī)格

  • 通過(guò)自動(dòng)楔形補(bǔ)償實(shí)現(xiàn)高產(chǎn)量

  • 開(kāi)室設(shè)計(jì),可快速轉(zhuǎn)換和維護(hù)

  • 200 mm鍵合系統(tǒng)的小占地面積:0.8 m 2

  • 程序與EVG的大批量生產(chǎn)鍵合系統(tǒng)*兼容

三、EVG鍵合機(jī)EVG510技術(shù)數(shù)據(jù)

  • 大接觸力:10、20、60 kN

  • 加熱器尺寸:150毫米、200毫米

  • 小基板尺寸:?jiǎn)涡酒?00毫米

  • 真空環(huán)境:標(biāo)準(zhǔn):0.1毫巴(可選:1E-5 mbar)


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